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半逆流再生是四床五塔式除盐系统，离子交换处理的工艺流程为：阳床-脱碳-阴床-阳床-阴床。阴、阳树脂均为强碱、强酸行交换树脂。第一台阳床及阴床装有较多的树脂，可基本上除去所有的离子；第二台阳床及阴床的树脂较少，起精制作用。再生时，酸、碱再生液分别先进入第二台阴、阳床，再串联至第一台的阴、阳床进行再生。各台交换器均采用顺流再生，操作较简便。此法具有分层再生的意思，由于树脂失效时，其型态排列阳床为：Ca型-Mg型-Na型-H型，当再生时按其反方向进行，即H型-Na型-Mg型-Ca型，这样的再生效率较高，因为H置换出Na，又可以继而置换出Ca、Mg。因此，大大减轻屯由H来置换的负担，取得了逆流再生相似的效益，故称为半逆流再生。此法适用于含盐量较高的除盐水处理。便投资较大，设备较多。